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1.
Development of a modular interferometric microscopy system for characterization of MEMS
Palabra clave:
Interferometry
,
shape and deformation measurement
,
Vibration
,
thermal
,
MEMS
,
vacuum
,
scanning white light
, and
vibrometry
Creador:
Klempner, Adam R.
Advisor:
Pryputniewicz, Ryszard J.
Editor:
Worcester Polytechnic Institute
Fecha de Creacion:
2007-01-04
Resource Type:
Thesis
Degree:
MS
Unit (Department):
Mechanical Engineering
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Collections
Masters Theses
1
Year
2007
1
Creador
Klempner, Adam R.
1
Advisor
Pryputniewicz, Ryszard J.
1
Contributor
Burnham, Nancy A.
1
Marinis, Thomas F.
1
Pryputniewicz, Ryszard J.
1
Sullivan, John M.
1
Unit (Department)
Mechanical Engineering
1
Editor
Worcester Polytechnic Institute
1
Tipo de recurso
Thesis
1