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Development of MEMS Sensors for Measurements of Pressure, Relative Humidity, and Temperature
Palabra clave:
Relative Humidity
,
MEMS
,
Temperature
,
Pressure
, and
Sensor
Creador:
Johari, Houri
Advisor:
Pryputniewicz, Ryszard J.
and
Savilonis, Brian James
Editor:
Worcester Polytechnic Institute
Fecha de Creacion:
2003-05-12
Resource Type:
Thesis
Degree:
ME
Unit (Department):
Mechanical Engineering
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Collections
Masters Theses
1
Year
2003
1
Creador
Johari, Houri
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1
Advisor
Pryputniewicz, Ryszard J.
1
Savilonis, Brian James
1
Contributor
Blandino, John J.
1
Furlong, Cosme
1
Pryputniewicz, Ryszard J.
1
Savilonis, Brian J.
1
Sulouff, R.
1
Unit (Department)
Mechanical Engineering
1
Editor
Worcester Polytechnic Institute
1
Tipo de recurso
Thesis
1